關於2022年限制性股票激勵計劃第二個歸屬期及2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期歸屬結果暨股份上市的公告
關於公司2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期符合歸屬條件的公告
監事會關於2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期歸屬名單的核查意見
上海市錦天城律師事務所關於2023年激勵第一個歸屬期符合歸屬條件、部分作廢暨調整2020、2022、2023、2024年授予價格相關事項之法律意見書
上海榮正企業諮詢服務(集團)股份有限公司關於中微半導體設備(上海)股份有限公司2023年限制性股票激勵計劃第一個歸屬期歸屬條件成就之獨立財務顧問報告
第二屆董事會第二十四次會議決議公告
關於調整公司2020年、2022年、2023年及2024年限制性股票激勵計劃相關事項及作廢處理部分限制性股票的公告
第二屆監事會第二十一次會議決議公告
2023年年度權益分派實施公告
海通證券股份有限公司關於中微半導體設備(上海)股份有限公司差異化分紅事項的核查意見
董監高集中競價減持股份計劃公告
關於召開2024年第一季度業績說明會的公告
關於股份回購實施結果的公告
關於調整 2023 年年度利潤分配現金分紅總額的公告
關於調整公司2024年限制性股票激勵計劃相關事項的公告
關於向2024年限制性股票激勵計劃激勵對象首次授予限制性股票的公告
上海市錦天城律師事務所關於中微半導體設備(上海)股份有限公司向2024年限制性股票激勵計劃激勵對象首次授予限制性股票之法律意見書
2024年限制性股票激勵計劃首次授予激勵對象名單(截至授予日)
監事會關於2024年限制性股票激勵計劃首次授予激勵對象名單的核查意見
上海榮正企業諮詢服務(集團)股份有限公司關於中微半導體設備(上海)股份有限公司2024年限制性股票激勵計劃調整及首次授予事項之獨立財務顧問報告
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