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莱伯泰科:计划与头部晶圆企业合作将质谱仪辐射至半导体上下游单位 助力我国半导体产业发展

萊伯泰科:計劃與頭部晶圓企業合作將質譜儀輻射至半導體上下游單位 助力我國半導體產業發展

證券時報 ·  07/17 22:47

證券時報e公司訊,萊伯泰科今日官微消息,隨着我國半導體產業快速發展,質譜儀作爲芯片製造過程中的關鍵檢測設備,其國產替代意義重大。目前,萊伯泰科與國內頭部晶圓企業建立了合作關係,計劃將LabMS 5000電感耦合等離子體串聯四極杆質譜儀輻射到半導體上下游產業單位。萊伯泰科質譜研發部產品經理王娟表示,團隊將針對行業特點開發溼電子化學品、實時在線晶圓中超痕量元素等分析方法,爲半導體制程中的質量控制提供技術支撐,助力半導體行業發展。

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