證券之星消息，根據企查查數據顯示中微公司（688012）新獲得一項發明專利授權，專利名爲“一種等離子體處理裝置及其工作方法”，專利申請號爲CN202011191143.7，授權日爲2024年5月10日。
專利摘要：本發明公開了一種等離子體處理裝置及其工作方法，該等離子體處理裝置包含：真空反應腔，其由反應腔腔體和腔體端蓋包圍而成；下電極組件，設置在所述真空反應腔內；可移動上電極組件，與所述下電極組件相對設置，所述可移動上電極組件和下電極組件之間爲等離子體環境；所述反應腔腔體設置有若干個觀測窗，所述觀測窗外部設置有若干個可移動監測儀，所述可移動監測儀用於監測所述可移動上電極組件與所述下電極組件之間的夾角和同心度。其優點是：將觀測窗與可移動監測儀相結合，其結構簡單，觀測方便，便於工作人員的日常維護與使用，更進一步保證了晶圓刻蝕的效果。
今年以來中微公司新獲得專利授權58個，較去年同期減少了7.94%。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了8.17億元，同比增34.91%。
數據來源：企查查
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