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京仪装备获得实用新型专利授权:“承托件及晶圆托取装置”

京儀裝備獲得實用新型專利授權:“承託件及晶圓託取裝置”

證券之星 ·  05/02 13:55

證券之星消息,根據企查查數據顯示京儀裝備(688652)新獲得一項實用新型專利授權,專利名爲“承託件及晶圓託取裝置”,專利申請號爲CN202322475616.1,授權日爲2024年5月3日。

專利摘要:本實用新型涉及半導體技術領域,尤其涉及一種承託件及晶圓託取裝置,由高分子材料加工成具有高摩擦力和耐磨特性的承託體和彈性凸臺,通過彈性凸臺託放晶圓,晶圓與晶圓託取裝置的接觸部位只有彈性凸臺,接觸面積小,一定程度上可減少晶圓被污染的發生幾率。而且,由於彈性凸臺具有彈性,託放晶圓後會有一定的彈性變形,但是相互間又不會有較大的擠推力,保證彈性凸臺與晶圓之間可產生較大摩擦力且又不會發生粘黏,相比於夾持晶圓邊緣或真空吸附的方式,晶圓被污染的幾率減小,提高了晶圓託取的傳送效率和成品率。

今年以來京儀裝備新獲得專利授權22個,較去年同期增加了57.14%。結合公司2023年年報財務數據,2023年公司在研發方面投入了6151.18萬元,同比增27.07%。

數據來源:企查查

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