平版大師表示,限制台積公司受益,多模式成本極高
隨著中美持續的緊張局勢,華為表現了它在沒有 EUV 設備的情況下製造 7nm 芯片的能力,芯片大師 Burn Lin 認為華為實現這一里程碑並不奇怪, 但是在 DUV 設備上製作具有多圖案的 5nm 芯片將很昂貴。
前台積電研發副總裁,創新沉浸式平版印刷技術的前任副總裁林伯恩(Burn Lin)告訴 IC 廣播,他已經預期在 2022 年,中芯國際可以使用 DUV 設備實現 7nm,就像台積公司一樣。但是, 他說,使用 DUV 設備製造 5nm 芯片至少需要四倍模型-這是一個耗時且昂貴的過程,並且因自我對齊困難而影響產量率和速度。
林表示,28nm 平台不涉及身臨其境的 DUV 設備上的多種模式,使其成為芯片製造最具成本效益的過程。然而, 他說,對於 28nm 及以下的製程,需要雙、三重或多種模式,使它們耗時且昂貴。 例如,能夠以每小時 250 顆晶圓的速度進行單次曝光的設備,可以使用一半的速度進行雙倍曝光,等等。 $台積電(TSM.US$ $納斯達克綜合指數(.IXIC.US$ $英偉達(NVDA.US$
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