05月13日，光刻机概念盘中跳水，截至09点43分，光刻机概念整体指数下跌0.50%，报1377.900点。
从个股上来看，该概念的成分股中，安泰科技跌2.98%，胜利精密、张江高科、华亚智能跌幅居前。
从资金上来看，截止发稿，光刻机概念主力净流入为-7547.91万，其中茂莱光学受到资金热捧，主力净流入120.87万；拉长时间线来看，该板块近20日主力资金净流入-11.54亿。
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