证券之星消息，根据企查查数据显示安集科技（688019）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光液”，专利申请号为CN201911397828.4，授权日为2024年5月3日。
专利摘要：本发明提供一种化学机械抛光液，包括研磨颗粒、催化剂、稳定剂、氧化剂、氮化硅抑制剂、水、以及pH调节剂。本发明提供了一种可以同时抛光金属钨、氧化硅和氮化硅的化学机械抛光组合物，该抛光液具有很高的钨抛光速率和中等的二氧化硅抛光速率，同时在具有很低的氮化硅抛光速度，起到在不影响前二者速度的情况下保护底层材料氮化硅的作用。
今年以来安集科技新获得专利授权5个。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.37亿元，同比增46.63%。
数据来源：企查查
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證券之星消息，根據企查查數據顯示安集科技（688019）新獲得一項發明專利授權，專利名爲“一種化學機械拋光液”，專利申請號爲CN201911397828.4，授權日爲2024年5月3日。
專利摘要：本發明提供一種化學機械拋光液，包括研磨顆粒、催化劑、穩定劑、氧化劑、氮化硅抑制劑、水、以及pH調節劑。本發明提供了一種可以同時拋光金屬鎢、氧化硅和氮化硅的化學機械拋光組合物，該拋光液具有很高的鎢拋光速率和中等的二氧化硅拋光速率，同時在具有很低的氮化硅拋光速度，起到在不影響前二者速度的情況下保護底層材料氮化硅的作用。
今年以來安集科技新獲得專利授權5個。結合公司2023年年報財務數據，2023年公司在研發方面投入了2.37億元，同比增46.63%。
數據來源：企查查
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